通常，按加（jiā）工精（jīng）度劃分，機械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個階段（duàn）。目前，精密加工是指加工精度為10~0.1m，表（biǎo）麵粗糙度為Ra0.1~0.01m，公差等級在IT5以上的加工技術。
但一般加工、精密加工和超精密加工隻是一個相對概念，其間的界限將隨著加工（gōng）技術的進步不斷變化，今天的精密加工可能就是明（míng）天的一般（bān）加工
凸起字樣被緩慢地往下壓進底部，最後變成平滑表麵
看似現代（dài）科技的超精密加工在上個世紀（jì）早已出現
超精（jīng）密加工（gōng）的發展經曆了如下三個階段：
（1）20世紀50年代至80年代（dài）為（wéi）技術開創期
出於（yú）航天、大規模集成電（diàn）路、激（jī）光（guāng）等尖（jiān）端技術發展的需要，美國率先發展了超精密加工（gōng）技術，開發了金（jīn）剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Single point diamond turning，SPDT)技術，又（yòu）稱為“微英寸技術”，用（yòng）於加工激光核聚變反射鏡、戰術導彈及載人飛船用球麵（miàn）、非球麵大型零件等（děng）。
（2）20世紀80年代至90年代為民間工業應用初期
在政府的支持下，美國的摩爾公司、普瑞泰克公（gōng）司開始超精密加工設備的（de）商品化，而（ér）日本的東（dōng）芝和（hé）日（rì）立（lì）以及歐洲Cranfield大（dà）學等也陸（lù）續推出產品，並開始用於民間工業光學（xué）組件（jiàn）的製造（zào）。但當時的（de）超精密加工設備依然高貴而稀少，主要以專用機的（de）形式訂作。
在這一時期，可（kě）加工（gōng）硬質金屬和硬脆性材料的超精密金剛石磨削技術及磨床被開發出來，但其加工效率（lǜ）無法和金剛石車床相比。
（3）20世紀90年代至今為民（mín）間工業應用成（chéng）熟期
在汽車、能源、醫療器材、信息、光電和通信（xìn）等產業的推動下，超精密加（jiā）工技術廣泛應用於非球麵（miàn）光學鏡片、Fresnel 鏡片、超精密模具、磁盤驅動器磁頭、磁（cí）盤基板加工、半導體晶片切割等零件的加工。隨（suí）著超精密加工設備的相關技術，例如控製器、激光幹涉儀（yí）、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導軌、油壓軸承導軌、摩擦驅動進給軸也逐漸成熟，超精（jīng）密加工（gōng）設備變為工業界常見的生產機器設備。
此外，設備精度也逐漸接近納米級（jí）水平、可加工工件的尺寸範圍也變得更（gèng）大，應（yīng）用越來越廣泛。隨著數控技術的發展，還出現了超精密五軸銑削和飛切技術。已經可以加工非軸對稱非球麵等複雜零件。
以上是“三大（dà）時期”下麵還有“三大趨勢”
超精密（mì）加工的發（fā）展趨勢主要為以下（xià）三個方麵：
(1) 高精度、高效（xiào）率（lǜ）
超精密加工（gōng）永恒的主題。探索能兼顧效率與精（jīng）度（dù）的加工方法，成為超精密加工領域研究人員的目標。
(2) 工藝整合化
高生產效率越來越成為企業賴以生存的條件，於是出（chū）現了“以磨代研”甚至“以磨（mó）代拋（pāo）”的呼聲。此外，使用一台設備完成多種加工(如車削、鑽削、銑（xǐ）削、磨削、光整)的趨勢越來越明顯。
(3) 大型化、微型化（huà）
加工航空（kōng）、航（háng）天、宇航等領域的大型光電子器件，需要建立大型超精密加工（gōng）設備；加工微型電子機械、光電信息等領域的微型器件，需要微型超精密加工設備。
世界最大口徑天文球麵射電（diàn）望遠鏡
總的來說，超精密磨削、珩磨等固（gù）著磨粒超精密加工技術正在追求遊離磨粒加工技術（shù）的加（jiā）工（gōng）精度，而遊離磨（mó）粒超精密（mì）加工技術正在追求固（gù）著磨粒加工的效率。超精密加工技術正向著適於大批量生產的高效高質量、低成本、環（huán）境友好的方向發展。
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