20世（shì）紀60年代（dài）為了適應核能、大規（guī）模集成（chéng）電路、激光和航天等尖端技術的需要（yào）而（ér）發展起來的精度極高的（de）一種加工技術。到80年代（dài）初，其最高加工尺寸精（jīng）度已可達10納米（1納米=0.001微米）級，表麵粗糙度達（dá）1納米，加工的最（zuì）小（xiǎo）尺寸達 1微（wēi）米，正在向納米級加工尺寸精度的目標前進。納（nà）米（mǐ）級的超精密加工也稱為納米工藝（yì）(nano-technology) 。超精密加工是處於發展中的跨學科（kē）綜合技術。20 世紀 50 年代至 80 年（nián）代為技術開創期。20 世紀 50 年代末，出於航天、國防等尖端技術發展的需要，美國（guó）率先發展了超精密加工技術，開發了金剛石刀具超精密（mì）切削——單點（diǎn）金剛石切削(Single point diamond turning，SPDT)技術，又稱為“微英寸技術”，用於加工激光核聚（jù）變反射鏡、戰術導（dǎo）彈及（jí）載人（rén）飛船用（yòng）球麵、非（fēi）球麵大型零件等。
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如在（zài）加丁過程（chéng）中對研拋工（gōng）具形狀、工件支撐狀態以及加工參數等進行實（shí）時自適應（yīng）控製（zhì），從而提高了加工精（jīng）度和效率（lǜ），發展成（chéng）為“準確定性”超精密加工技（jì）術，這種方（fāng）式是目前光學元件的主要加工方式，其中典型的準確（què）定性超精密加（jiā）工工藝包括小磨頭拋光、磁流變拋光、氣囊拋光、離子束拋光、應力盤拋光等，這些超精密加丁工藝可以通（tōng）過控製駐留時間、壓力（lì）、工件轉速等參數確定去除函數，預知準確的材料去除量從而（ér）最終控製工件的麵形(見圖1-6(b))。
超（chāo）精密加工（gōng）
與非確定性（xìng）超精密加工技（jì）術相比，準確定（dìng）性超精密加T技術具有以下特點：
①對加工設備精度要求較高：由於加工過程中（zhōng）需要控製加工（gōng）點和丁具的相對位置精度，所以（yǐ）要（yào）求加工設備具有較高的重複定位精度，一般要求在0.01mm左右即可滿足使用（yòng）要求；
②由於（yú）通（tōng）過（guò）理論計算或試驗可以得到加工過程的去除函數，所以（yǐ）較為準確地控（kòng）製每次加工（gōng）的去除量，通過對去（qù）除（chú）函數收斂性的分析仿真可（kě）以大大縮短加（jiā）工周期，這（zhè）樣不僅提（tí）高了加丁精度，同時也縮短了加工效（xiào）率、降低了生產成本；
③可以通過加工設（shè）備複雜的多軸運動控製工具的軌跡，進行包（bāo）括非球麵、自（zì）由曲麵等複雜曲麵超精密加工（gōng）。
超精密（mì）切削加工
主（zhǔ）要有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車床上用經過精細研磨的單晶金剛石（shí）車刀進行微量（liàng）車削,切削厚度僅1微米左右，常用於（yú）加工有色金屬（shǔ）材料的球麵、非球麵和平（píng）麵的反射鏡等高精度、表麵高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直（zhí）徑為800毫米的非球麵反射鏡，最高精度可達0.1微（wēi）米（mǐ），表麵（miàn）粗糙度為Rz0.05微米。
超精密特種加工（gōng）
加工精度以納米，甚至最終（zhōng）以原子（zǐ）單位(原（yuán）子晶格距離為0.1～0.2納米)為目標時，切削加工方法已不能適應，需要借助特種加工（gōng）的方法，即應用（yòng）化學能、電化學能（néng）、熱能或電能等，使這些能量超越原（yuán）子（zǐ）間的結合能，從而去除工件表麵的部分原子間的附（fù）著、結合或晶格變形，以達到超（chāo）精密加工的目的。屬於這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電（diàn）子（zǐ）束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等（děng）。這些方法的特點是對表麵（miàn）層物質（zhì）去除或添加的量可以作極細微的控製。但是要獲得超精（jīng）密的加工精度，仍有賴於（yú）精密的加工設備和精確的控製係統，並采用超（chāo）精密掩膜作中介物。例如超大（dà）規（guī）模集成電路的（de）製版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（jì）（見光刻）進行曝射，使光致抗（kàng）蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解（jiě）)，再用顯影劑把聚合過的或（huò）未聚合過的部分溶解掉，製成掩膜。電子束曝射製（zhì）版需要采用工作台定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。
