已量產7nm製程設（shè）備（bèi）零部件 富創精密科創（chuàng）板IPO成功過會 一家國產半導體設備（bèi）精密零部件企業

2022年5月5日，上交（jiāo）所科創板上市委發布（bù）2022年第35次審議（yì）會議結果顯示，國產半導（dǎo）體（tǐ）精密零部件廠商——沈陽富創精密設備（bèi）股份有限公司(以（yǐ）下簡稱“富創精密”或公司)順利通過上交（jiāo）所（suǒ）審核，其科（kē）創板上市（shì）進（jìn）程邁出關鍵性的一步。

可量產7nm製（zhì）程設備所需的精密零部件

公開資料（liào）顯示，富創精密成立於2008年，是一家國產半導體設備精密零部件企業，主要產品應用於半導體設備（bèi）覆蓋集成電路製造中刻蝕、薄膜沉積、光刻及塗膠顯影、化學機械拋光、離子（zǐ）注入等核心環（huán）節，部分（fèn）產品已應用於製造先（xiān）進7nm製程的前道設備，成為了全球為數不（bú）多的可以量產（chǎn）應用於7nm工藝（yì）製程半導體設（shè）備的精密零部（bù）件製造商。除半導體設備外，公司產品也應用於製造顯示麵板、光伏產品的（de）泛（fàn）半導體（tǐ）設備及其他領域。

據介紹，富創精密產品主要包括工藝零部件、結構（gòu）零部件、模組產品和氣體管路等，並且在高（gāo）精密、高潔淨、高耐腐蝕、耐擊穿電（diàn）壓等性能方麵均達到了國際主流客戶標準。

富（fù）創精密目前已有部分（fèn）腔體、內襯、勻（yún）氣盤等高端產品應（yīng）用於7nm工藝製（zhì）程（chéng）設備，未來將繼續擴大（dà）相關品類，並加快研製應用於5nm及更先進工藝製成的半導體設備精密零部件。

值得一提的是，內襯產品已通過主流國際客戶認證的除了富創精密，還（hái）包（bāo）括少量美國廠商 、 韓國Iones、日本Tocalo等，其中韓國 Iones和日本 Tocalo 都是采（cǎi）購了富（fù）創（chuàng）精密內（nèi）襯後進行塗層加工後再銷售給主流國際客戶。

報（bào）告期內，富創精密的產品已進入了東京電子、HITACHI High-Tech和ASMI等全球半導體設備龍頭廠商供應鏈體（tǐ）係。同時，基於半導體設（shè）備國產化趨勢，富創精密也積極開拓境內市場，產品已進入包括北方華創、屹唐（táng）股份、中微公司、拓荊科技、華海清科、芯源微、中（zhōng）科信裝備、凱世通等主（zhǔ）流國產半導體設備廠商，為我（wǒ）國半導體產業供應鏈安全提供了助力。

值得一提的是，富創精密實（shí）際控製人兼（jiān）董事長、總（zǒng）經理鄭（zhèng）廣文先生同（tóng）時（shí）也是半導體設備（bèi）廠商芯源微的創始（shǐ）投資人。

半（bàn）導體（tǐ）精密零部件（jiàn）的國產化機遇

根據（jù）富創精密（mì）的招股書顯示，半導體（tǐ）行業遵（zūn）循（xún）“一代技（jì）術、一（yī）代工藝、一代設備”的產業規律，半（bàn）導體設備是延續行業“摩爾定律”的瓶（píng）頸和關鍵（jiàn）。鑒於半導體設備廠商往往為輕（qīng）資產模式運營，其（qí）絕大部分關鍵核心技術需要物化在精密零部件（jiàn）上，或以精（jīng）密（mì）零（líng）部件作為載（zǎi）體（tǐ）來實現。

半導體設備精密零部件具有高精密、高潔淨（jìng）、超強耐腐蝕能（néng）力、耐擊穿電壓（yā）等特性，生產工藝涉及精密（mì）機械製造、工程材料、表麵處（chù）理特種工藝、電子電機整合及工程設計等多個（gè）領域（yù）和（hé）學科，是半導體設備（bèi）核心技術的直接保障。因此，半導體設備的升級迭代很大程度上有賴於精（jīng）密零部件（jiàn）的技術突破，從而半導體（tǐ）精密零部（bù）件不僅是半導體設備製（zhì）造環節中難度較大、技術含量較高的環節之一，也是國內半（bàn）導體設備企業“卡脖子”的環節（jiē）之一，其支撐著半導體設備行業（yè），繼而支撐半（bàn）導體芯（xīn）片製造和整個現代電子信息產業。

近年來，得（dé）益於中國政府的大力支持，中國半導體（tǐ）產業（yè）的發展迅速，特別是（shì）在近兩年（nián）全球（qiú）“缺芯”的大背景之下，國（guó）內的半導體製造業發展迅猛，對於半導體設備的需求也是持續高速增（zēng）長。

根據國際半導體產業協會SEMI發布《全球半導體設備市場統（tǒng）計報告》顯示，2021年全球半導體製造設備銷（xiāo）售額激增，相比2020年的（de）712億美元增長了44%，達到1026億美元的曆史新高。其中，中國大陸地區（qū）再度成為全球最（zuì）大的半（bàn）導體設備市場，占比高達28.9%。

此外，由於（yú）近兩年來美國對於中國半導體製造業的持續打壓，以及國內半導體製造廠商對於供應鏈多元（yuán）化、國產化的需求（qiú）的增長，也推動了國產半導體設備廠商的高速增長。同樣，國產半導體設備廠商（shāng）出於供應鏈安全考慮，也在持（chí）續提升國產化精密零部件的占比。這對於國產半導體精（jīng）密零部件廠商來說可謂是一大發展機遇。

根據招股（gǔ）書顯示，目前國內規模較大的半導體設備精密（mì）零部件廠商主要為台灣地區的京鼎精密和日本Ferrotec等外資企業的境內子公司，其（qí）主要為（wéi）國際半導體設備（bèi）廠商供貨。在國產半導體設備精密零（líng）部件企業中，富創精密也（yě）能夠直接為國際及國產（chǎn）半導體設備廠商製造量（liàng）產產品。此外，也有以向國產半導體設備廠商供貨為主（zhǔ）的靖（jìng）江先鋒（fēng）和托倫斯等。

根據不同類型設備2020年公布的市場規模累加得到的富創精密主要產品的市場規模預測數據顯示，富創精（jīng）密目前涉及的半導體設備精密零部件全球市場規（guī）模2020年約為160億美（měi）元，占當年全球半導體設備市場規模的22%。若根據 SEMI 預測的2030年半（bàn）導體設備市場規模達到1,400億美元，假設比例不變，則（zé）富（fù）創精密主要產品全球市場（chǎng）規模（mó）有望在2030年超過300億美元（yuán）。

根據以（yǐ）上數據，2020年（nián）富創精（jīng）密涉及（jí）的工藝零部件、結構零（líng）部件、模組（zǔ）產（chǎn）品（pǐn）和氣體管路四大類產品全球（qiú）市場規模合計（jì）約160億美（měi）元，而2020年富創精密（mì）的營收僅（jǐn）為4.81億人民幣（約合0.72億美元），也就是說，目前富創精密主要產品在全球市場（chǎng）占有率不足1%，尚有較大成長空間。

營收及（jí）淨利潤增長迅速，但規模仍相對較小

財務數據（jù）顯示，2018-2020年，富創精密實（shí）現的營業收入分別約（yuē）為2.25億元、2.53億元、4.81億元、8.43億元；淨利（lì）潤分別約為686.23萬元、-3334.4萬元、9350.5萬元、1.21億元；扣除（chú）非淨利潤分別為-809.05萬元、-6016.99萬（wàn）元、3161.11萬元和7484.73萬元。

可以看到，近兩年來，富創精密的營收、淨利潤、扣非淨利潤都呈現快速增長態勢，特別是2020年和2021年，營收同（tóng）比增幅分別高達90.11%和75.26%。

但是，與Ferrotec、京鼎精（jīng）密、超科林等同（tóng）行業廠商的營收和淨利潤（rùn）水平對比來（lái）看，富創精密（mì）的規模仍相對較小。

富創精密也表示，公司（sī）雖然已發展成行業內綜合實力較強的（de）民營企業之一，並具備（bèi）較為全麵的產品品類，但與美國、日本、台灣地區同行業企業相比，公司的業務規模仍然偏小。尤（yóu）其是公司當前產品以零件為主，模組產（chǎn）品生產規模與同業相比存在較大差距。隨著半導體（tǐ）設備精密零部件（jiàn）市場的快速增長和國際同業的持續（xù）投入，公司業務規模和產品布局趕超國（guó）際同業尚需（xū）自身的長期持續投入與國（guó）內（nèi）下遊半導體設備廠商的不斷成長。

另（lìng）外，從收入來源（yuán）看，2019-2021年來，富創精密應（yīng）用（yòng）於半（bàn）導體設備的收入來源占比持（chí）續提升，2021年已經達到（dào）了88.22%，應用於非半導（dǎo）體（tǐ）設備的收入來源占比已降至11.78%。

從具體的是產（chǎn）品類別來看，2019-2021年，結構零部件的收入占比一直是最高的，維持在40%以上；氣體管路的收入占比一直在持續快速提升，已經由2019年的2.24%提升到了2021年的16.62%。工藝零部件和模組產（chǎn）品的占比則呈（chéng）緩慢下滑態勢，但至（zhì）2021年仍維持在20%左右。

政府補助在淨利潤總（zǒng）額中占比較高（gāo）

報告期內，富（fù）創精密確認為當期損益的政府補助分別為3,069.51萬元、7,212.21萬元和5,617.76萬元，占2020年和2021年同期利潤總（zǒng）額比例分別為66.62%和41.45%（2019年公司利潤總額為負）。

所獲得的政府補助，主要為公司承接國家“02 重大專項”和其他政府專項補（bǔ）助的遞延收益結轉，其中“02 重大專項——基於焊接和表麵塗覆技術的大型（xíng）鋁件製造技術開發（fā）”項目於 2020 年完成驗收並收取與費用相關補助 3,996.24 萬元（yuán）一次性計入（rù）其他收益，2021 年起該項目政府補（bǔ）助收益主要為（wéi）前期與（yǔ）資產相關補助的攤銷，導（dǎo）致當期其他收益（yì）同比大（dà）幅下降。

富創精密表示，若未來政（zhèng）策（cè）環境發生變化，公司可能無法持續（xù）獲得政府（fǔ）補助。

第一大客戶貢（gòng）獻近6成營收

由於2019-2021年間，富創精密前五大客戶中帆宣科技和 TOCALO 的最終客戶均為客戶A（總部（bù）注冊在美國），因此，富創精密最終銷往客戶 A 的銷售收（shōu）入占當期營業收入比例為 75.24%、74.54%和58.26%，雖然呈持續降低趨（qū）勢，但是對於客戶A的依賴程度依然很高（gāo）。

對此，富創精密表示，公司對客戶A的銷售占比較（jiào）高主要是（shì）由於下遊行業集中度高及客戶A的行業地位導致。公司產品主要應用於刻蝕、薄膜沉積、化學機（jī）械拋光和離（lí）子注入機等前（qián）道設備，相應細分設備領域客戶（hù）A均是全球（qiú）主（zhǔ）要供應商；此外，公（gōng）司與客戶A是（shì）相互依賴（lài）的合作關係，對於已經達成合作關（guān）係的零部件供應商，設備廠家普遍黏性較強，輕易不會發生更換或代替，使得半導體設備生產（chǎn）商與上遊零部件供應商互相綁定和依賴。

作為對比，根據同行業廠商京鼎精密和美國超科林的（de）公開披露的年度報（bào）告，報告期內京鼎（dǐng）精密（mì）的第一大客戶收入（rù）占比（bǐ）超過 80%，超科林的（de）前兩大客戶合計（jì）收入占比超過 60%，與富創精密客戶集中情況基本一致。

另外（wài），需要指出的是，在前五（wǔ）大客戶當中，除上海國投（tóu）同時投資公司及拓荊科技（jì），並委派相同董事齊雷，導致富創精密與拓（tuò）荊科（kē）技（jì）被動存在關聯關係外，富（fù）創精密與其他前五大客戶（hù）之間不存在（zài）關聯關係（xì）。

除前（qián）述關聯關係外，富創（chuàng）精密董事、監事、高級管理人員、核（hé）心技術人（rén）員、持有公司 5%以上（shàng）股份的股東（dōng）、公司的其（qí）他關聯方未在上述客戶中（zhōng）擁有權益。

前五大供應商占比低於50%

報告期（qī）內，富創精密向前五大材料供應商的采購總金額在當期總采（cǎi）購金額當中的占比一（yī）直是（shì）低於50%，且向第一大供應商的采購金額占（zhàn）比也一直是在20%左右，依賴程度相對較（jiào）低。

2021年富創精（jīng）密前五大（dà）外協供應商占當年外協比例同比 2020 年降幅較大，主要係公司外協供應商增加，一方（fāng）麵公司考慮原有部（bù）分（fèn）外協供應商（shāng）產能不足；另一方麵公司保障（zhàng）供應鏈安全，部（bù）分外協環節提前儲備備選供應（yīng）商。

研發投入占（zhàn）比（bǐ）高（gāo）於同業，研發人員占比僅20.68%

數據（jù）顯示，2019至2021年，富創精密研發費（fèi）用分別為2880.53萬元、3693.17萬元、7419.86萬元，呈大幅增長趨勢，研發費用在（zài）營（yíng）收中的占比分別為11.37%、7.67%和8.80%。雖然研發費用占比並不（bú）高，但是（shì）如果與（yǔ）國（guó）內外同行公司相比，亦處於較高水（shuǐ）平。

在專利方麵，截至本招股說明書簽署日，富創精密及子公司共擁有（yǒu）境內外專利 137 項，其中境內發明專利 30 項、境外發明專利 7 項。

在研發人員占比方麵，截至（zhì） 2021 年 12 月 31 日，富創精密員工（gōng）人數為1,088 人。其中，研發人員（yuán） 225 名，占公（gōng）司全部員工比（bǐ）例（lì）為 20.68%。雖然在（zài）整個半導體行業（yè）當（dāng）中，這個（gè）研發人員占比相對較低，但是對於半（bàn）導體（tǐ）設備相關企業來說，卻並不算底。作為對比，北方華創2020年研發人員占比也隻有23.67%。

當然，從（cóng）整體的研發投入、研發人員數量以及專利產出來看，富創精密確實麵臨著高端技術人才短缺，人才儲備相對（duì）不足的問題。

富創精密表（biǎo）示，半導體設備精密零部件製造業涉及精密機械製造、表麵處理特種工藝、焊接等多（duō）個技術領域的知識，對（duì）技術人才（cái）素質有較高的要求。鑒於我國半導體設備精密零部件製（zhì）造業起步較晚（wǎn），高端技術人（rén）才儲備相對（duì）不足，雖然（rán）優勢（shì）企業可以通過人（rén）才引進滿足階段性發展需要，但（dàn）從長遠來（lái）看，高端技術人才的匱乏仍是公司做精（jīng）做強、提升核心競爭（zhēng）力和國際（jì）競爭力的製約因素。

董事長鄭廣文為實際控製人

截至本招股說明（míng）書簽署（shǔ）日，在本次發行前，持有富創精密 5%以上股份的股東包括沈（shěn）陽先進（22.55%）、寧波祥浦（21.56%）、上海國投（18.22%）、遼寧科發（6.38%）、鄭（zhèng）廣文（6.38%）、遼寧中德（6.38%）。

其中，鄭廣文通過個人直接持股6.38%，再加上通過沈陽先進的間接（jiē）持股，以及員工持股平台（tái）寧波芯富、寧（níng）波良芯、寧波芯芯，可控製公司 34.03%股份表決權，為富（fù）創精密實際控製人。同時，還鄭廣文擔任董（dǒng）事長、總（zǒng）經理，對富創精密生（shēng）產經營、重大決策（cè）具有實際的控製力。

不過，在本次IPO發行完成後，鄭廣文控製的股份表（biǎo）決權（quán）比例將被進一步（bù）稀釋（shì），屆時將存在控製力不足（zú）和控製權變動（dòng）的風險。

擬募資16億元，投建生產基地

此次IPO，富創精密（mì）擬（nǐ）募資總額16億元，其中10億元用於“”集成電路裝備零部件全工藝智能（néng）製造生產（chǎn）基地”，該項目將通過精密機械製造、焊接（jiē）、表麵處理 特種（zhǒng）工藝以及精密零部件、氣體管路和模組產品（pǐn）生產線，搭建（jiàn）智能信息化管理平台，擴大公司現有產品（pǐn）產能，提高產品科技含量，提升生產（chǎn）的信息化水平。另（lìng）外6億（yì）元用於補充流（liú）動資金。