填補國內空白，南京這家企業用“細致活”助力精密加工

光刻機是芯片消費的中心設備，光刻機用的光學石英玻璃（lí）及元器件被譽為“光刻之（zhī）肺”，是光刻機中必不可少的（de）部件。

在嘉定區外岡鎮，一家成立於2018年的年輕企業（yè）——晶智（上海）光學儀器設備有限公司經過持（chí）續自主研發和創新開辟，不時比（bǐ）照調整、重複迭代，最終樹立起具有（yǒu）完整自主學問產權的應力處置模型和工藝數據（jù）庫，並運用（yòng）獨有的低溫氫摻（chān）雜技術和基於環拋、離子束等多形式組合（hé）加工工藝，完成光刻石英玻璃元器件（jiàn）的超精細、超（chāo）潤滑加工，這進一步減少（shǎo）了國內與（yǔ）國外的技術差距（jù），突破了半導體光刻機用光學（xué）石英玻璃（lí）元部件主要依賴進口的現狀。

日前，在晶智（zhì）的消費車間內，多台超高精度數控加工中心與數控拋光設備正（zhèng）滿負（fù）荷運作，操作人員站在一旁親密關注著設備的運轉狀況。企業（yè）相關擔任人秦（qín）宇（yǔ）洋通（tōng）知記者，正在加工的是用（yòng）於光（guāng）刻機的超精（jīng）細光刻吸盤，也是公司（sī）產品目前可以到達的（de）最高精度級別。據引見，研發人員將經典拋光（guāng）、高速拋光（guāng）和離子束拋光等工藝停止了優化組合（hé），消費出的（de）這（zhè）批超精細光學元部件的粗糙度低於0.25納米，能極大進步光刻成像質量。秦宇洋說了一個很直觀的（de）比喻：假如把這個元部件（jiàn）放大至整個嘉定區大小（xiǎo），其平麵（miàn）內最高與最低處（chù）尺寸（cùn）誤差也（yě）不超越1毫米。

“光刻機對曝光載台精度的請求十分高（gāo），需求準確到納（nà）米級別，位移載台精度一旦（dàn）呈（chéng）現問（wèn）題，製造的芯（xīn）片（piàn）就不（bú）能用。”秦宇洋一邊說，一邊拿出了一塊直徑約30厘米、厚度約4厘米的超精細光刻吸盤（pán）廢品，上麵排布（bù）著（zhe）上百個小圓孔和（hé）數道牙簽粗細的凹槽。這看似（sì）簡單的（de）結（jié）構，其（qí）中凝結著多年的技術沉澱和不時的技術改造 。

以前，秦宇洋就職於一家德國企業駐中國辦事處，特地擔任向國內企業供給光學石英玻璃。“國外公司的業務流（liú）程普通是客戶提出訂貨需（xū）求，他們接單後開端消費，收貨（huò）周期在6個月左右。這樣一來，客戶的（de）時間本錢增加，項（xiàng）目進度（dù）受（shòu）影響，同時由於國內加（jiā）工工藝（yì）受限，企業的消費本錢也不（bú）斷居高（gāo）不下。”秦宇洋說，為了縮短交貨時間、降（jiàng）低交貨風（fēng）險，2018年 ，他和幾位合夥（huǒ）人一（yī）同創建了晶（jīng）智公司。起初，他們（men）隻是（shì）對國外進口的原資料停止粗加工之後供給（gěi）給客戶，隨著企業在光刻機用高（gāo）平均性石英資料上的研發才能和加工工藝不時提升，他們逐漸（jiàn）開端為下遊光刻企業提（tí）供高精細元器件的“定製效勞”。

如（rú）何打破常規的製造工藝？秦宇洋率領團隊設計工裝模具，改造加工（gōng）設備，對工藝（yì）參數不時停止總結。“我們用了近2年時間，終於完（wán）成了加工光學（xué）元件外表粗糙度低於1.25納米，但此前不斷停留在研發階段。”秦宇洋引見。桌麵上這款最新款的超精細（xì）光刻吸盤，正是從實驗數據走向產品量產的一大步。“可別小看這一塊（kuài）吸盤（pán），上麵的孔大了漏氣，小了吸力不夠，最終廢品既要保證吸得（dé）住矽片，又要不產生絲毫磨損，前後實驗了六批產（chǎn）品，才將應（yīng）力處置模型、工藝數據和實（shí）踐消費圓滿分離，將呈現問題（tí）的概率降（jiàng）至最低（dī）。”記者理解到，公司首批上線的8件資料，經過2周（zhōu）的工（gōng）期後，下（xià）線時卻隻勝利了1件，其他7塊全部報廢，這可（kě）急壞（huài）了（le）研發（fā）團隊。要曉得，每塊原資料的價（jià）錢從幾（jǐ）萬到幾十萬不等，宏大的試錯本錢給團隊帶來（lái）了不少壓力。經過研發團隊和操作（zuò）人員重複複盤、梳理、總結，最終在（zài）第六（liù）批產品下線時完成了零破損。   

除（chú）了加工精度不時（shí）提升外（wài），怎樣降低資料加工（gōng）和運用過程中崩裂的風險，企業也有“獨門秘籍”。記（jì）者在現場看到，每塊原資料在完成第一（yī）道工序——切割後，都會（huì）浸泡在（zài）一種特製（zhì）的緩衝溶液中（zhōng），經過重複處（chù）置再送上精（jīng）加工工作台（tái）。秦宇洋說：“光學玻璃是脆性資料，粗加工後邊緣會呈現肉眼不（bú）可見的裂痕，假如聽任不論，就會增加精加工時的崩（bēng）裂風險（xiǎn）。”針對這樣的問題，研發（fā）團隊自主研發了納米粘結劑，這種粘結劑既要能很好地浸透進裂痕，又要具（jù）備強勁的拉力，足以牢牢“扯住”裂痕，阻止玻璃裂痕繼續生長（zhǎng），保證玻（bō）璃精加工時堅持穩定、不碎裂。“目前國內可以做到這個水平的（de），隻要我們一家。”秦宇洋驕傲地說。

據悉，晶智公司目前可以完成高精細石英資料的去（qù）應力處置（zhì），應力雙折（shé）射小於2納米/厘米，產品已逐漸完（wán）成量產，遭到不（bú）少科研單位的喜愛。2022年，晶智公司年（nián）產值達3億元，和2021年相比翻（fān）了一番。